Tiêu chuẩn phòng sạch ISO 5 (Phòng sạch Class 100)

Phòng sạch Class 100 là gì?

Phòng sạch Class 100 (Hay tiêu chuẩn ISO 5) là một phòng sạch có yêu cầu cao và khắt khe về độ sạch cũng như các yếu tố kiểm soát như lượng bụi, nhiệt độ, ánh sáng,… Thông thường phòng sạch Class 100 sẽ được sử dụng trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn và dược phẩm, y tế.

Tiêu chuẩn phòng sạch ISO 5 theo ISO 14644-1

Kích thước ≥0.1μm ≥0.2μm ≥0.3μm ≥0.5μm ≥1μm ≥5μm
Số hạt / m3 100.000 23.700 10.200 3.520 8.320 293

Tiêu chuẩn phòng sạch Class 100 theo STD 209E

Kích thước ≥0.1μm ≥0.2μm ≥0.3μm ≥0.5μm ≥5μm
Hạt tối đa / ft3 750 300 100

Dựa trên các tiêu chuẩn phân loại phòng sạch bằng nồng độ hạt tối đa cho phép trên một phần thể tích không khí, nồng độ càng cao thì độ sạch càng giảm. Với các chỉ số thấp như trên thì phòng sạch Class 100 (Hay còn gọi là ISO 5) là một loại phòng sạch cao cấp và cần kiểm soát một cách kĩ lưỡng.

Đọc thêm: Các nguồn gây ô nhiễm phòng sạch.

Các tiêu chuẩn khác của phòng sạch Class 100

Thông số kỹ thuật khi thiết kế phòng sạch:

  • Kiểm soát được các hạt có kích thước lớn hơn 0.5 µm và nhỏ hơn 5 µm.
  • Hiệu suất của bộ lọc (HEPA) luôn đạt công suất 99,99% ở 0.3 µm.
  • Dựa theo ứng dụng và mục đích sử dụng của phòng sạch, lắp đặt HEPA BOX hoặc FFU (Fan Filter Unit) tại đầu cuối quy trình lọc.
  • Luồng không khí thiết kế theo hướng một chiều (dòng chảy tầng), thẳng đừng từ trên xuống dưới và hồi trở lại hệ thống điều hòa qua các cửa gió hồi.
  • Số lần thay đổi không khí (ACH): 240 – 480 lần mỗi giờ.
  • Độ phủ của bộ lọc: 60 – 70%.
  • Kết cấu tường: Có thể có các đường nối và rãnh nguyên khối, loại bỏ các góc vuông nhọn, giúp vệ sinh và phun sương hóa chất tẩy rửa một cách dễ dàng nhất.
  • Kết cấu trần, hệ thống sàn bao gồm khả năng chống hóa chất, kiểm soát tĩnh điện, chống va đập và chống trượt.

Thiết bị tiêu chuẩn để lắp đặt trong phòng sạch Class 100

Phòng sạch Class 100 yêu cầu nhiều thiết bị hiện đại khác nhau để đáp ứng tiêu chuẩn và kiểm soát độ sạch một cách chính xác nhất:• Pass Box

  • Air Shower
  • FFU – Fan Filter Unit
  • Phòng Air Lock
  • Phòng Gowning
  • Thảm dính bụi
  • Sàn Vinyl hoặc sàn sơn Epoxy tự cân bằng
  • Đèn phòng sạch
  • Nội thất bằng thép không gỉ
3 yếu tố gây nguy hiểm trong phòng sạch bán dẫn
Phòng sạch SoftWall (Tường lưu động)

preloader