Trong phòng sạch, sẽ có các loại thuật ngữ chuyên môn riêng để chỉ các sự vật, hiện tượng xuất hiện trong đó. Các thuật ngữ đó được chia làm nhiều chủ đề, hãy cùng Systech tìm hiểu kỹ hơn về chúng để nắm rõ khi vào phòng sạch nhé:

Các thuật ngữ chỉ khu vực trong phòng sạch

Hình ảnh phòng ngăn không khí.

• Air Lock – (Phòng ngăn không khí): Phòng ngăn giữa phòng sạch và môi trường bên ngoài, tác dụng như là một môi trường trung gian, phòng đệm để ra vào cũng như vận chuyển vật liệu khu vực phòng sạch.
• Air Shower – (Phòng tắm khí): Phòng nhỏ có các vòi phun khí nén giúp làm sạch trước khi vào phòng sạch.
• Clean Room Pass Thrus – (Phòng đi ngang qua phòng sạch): Là phòng ngăn không khí nhưng dùng để làm hành lang dành cho sản phẩm và các nguyên vật liệu vào hoặc ra khỏi khu vực phòng sạch mà không có nhân viên đi vào nhằm giảm thiểu sự xâm nhập của các yếu tố nhiễm bẩn không khí của phòng sạch.
• Unidirectional Airflow Cleanrooms/Laminar airflow cleanrooms – (Phòng sạch có dòng khí theo 1 hướng duy nhất/dòng khí phân nhiều lớp): Là phòng sạch trong đó khí lọc vào trong phòng tới khu vực làm việc theo một hướng duy nhất, giảm thiểu sự hỗn loạn của dòng khí. Phòng sạch có dòng khí theo 1 hướng duy nhất thường dùng bộ lọc HEPA hay ULPA bao phủ 80% hoặc nhiều hơn ở trần nhà (luồng khí dọc) hoặc một bức tường (luồng khí ngang).

Các thuật ngữ chỉ môi trường trong phòng sạch

Vi sinh vật mà mắt thường không nhìn thấy.

• Air flow rate – (Lưu lượng dòng khí): Thể tích dòng khí trong mỗi đơn vị thời gian.
• Contamination – (sự nhiễm bẩn): Là các loại chất nguy hại, hoặc chất bẩn, bụi bẩn,… khi có mặt trong phòng sạch sẽ làm giảm các tiêu chuẩn “sạch” đang có.
• Microbes – (Vi sinh vật): Là các sinh vật cực nhỏ và có thể sẽ mang theo mầm bệnh. Chúng thường bám lên bề mặt da, quần áo thông thường hoặc phát tán khi cơ thể con người thải ra các tế bào da chết.
• Particle Size – (Kích thước tiểu phân): Thể hiện số đo hoặc các kích thước của một hạt.
• Particle – (Tiểu phân): Là vật thể, có thể ở dạng rắn hoặc dạng lỏng, có kích thước từ 0,001 cho đến 1,000 micron, mắt thường không thể nhìn thấy.
• Particulate – (Hạt): là vật thể bao gồm nhiều tiểu phân tách biệt nhau.
• Turbulent Flow – (Dòng chảy rối): là dòng không khí trong một không gian nhất định chảy không theo cùng một hướng.
• Electrostatic Discharge (ESD) – (phóng điện do tĩnh điện): Sự giải phóng điện tích không có kiểm soát của điện thế, nó cũng được gọi là “điện giật” và dễ dàng phá hỏng các sản phẩm bán dẫn, linh kiện điện tử hoặc gây tích điện cho một số thành phẩm.

Các thuật ngữ chỉ thiết bị, hệ thống phòng sạch:

• Ceiling Grid System – (Hệ thống khung của trần nhà): Cấu trục trần nhà giúp lắp đặt các hệ thống ánh sáng, lọc không khí, điều hòa đạt tiêu chuẩn.
• Cleanroom Partitions – (Các tấm ngăn trong phòng sạch): Là các tấm ngăn được sử dụng để ngăn phòng sạch thành các khu vực có mục đích và chức năng hoạt động khác nhau.
• Clean Room Suits – (Quần áo dùng trong phòng sạch): Quần áo chuyên dụng dùng cho phòng sạch, bao gồm nhiều kiểu dáng khác nhau như bộ áo liền quần, bộ quần áo rời,… có tính năng chống tĩnh điện và được làm từ vải không dệt.
• Clean Room Tables – (bàn làm việc trong phòng sạch hay còn gọi là bàn thao tác): Bàn làm việc sử dụng trong phòng sạch.
• Cleanzone: Một không gian được phân định trong đó sự tập trung của các hạt có trong không khí được kiểm soát sao cho ở dưới mức độ cho phép.
• Equipment Layout – (Mặt bằng triển khai thiết bị): Bản vẽ hoặc mô tả về phòng sạch và các khu vực trong đó giúp hiểu rõ về chức năng cũng như cách thức hoạt động chung.
• Federal Standard 209E: Văn bản tuyên bố tiêu chuẩn độ sạch không khí của phòng sạch.
• Filter Module – (Máy lọc): Thiết bị lọc có gắn bộ lọc HEPA hoặc ULPA trong phòng sạch.
• HEPA (High Efficiency Particulate Air) Filter – (Bộ lọc bụi trong không khí hiệu năng cao): Có khả năng lọc không khí với việc giữ lại ít nhất 99,97% các hạt bụi có kích thước nhỏ tới 0,3 micron.
• ULPA (Ultra Low Particulate Air) Filter – (Bộ lọc bụi cực nhỏ trong không khí): Là bộ lọc không khí có thể giữ lại 99,9999% các tiểu phân có kích thước nhỏ tới 0,12 micron.
• HVAC (Heating, Ventilation and Air Conditioning) Systems – (hệ thống Sưởi, thông gió và Điều hòa không khí): Là thiết bị để cung cấp và duy trì việc sưởi ấm, làm mát và điều hòa không khí trong tòa nhà hay cơ sở sản xuất.
• Sealant – (gioăng, keo bít kín): Là chất thường bao gồm chất dẻo hoặc silicone dùng để gắn các bộ lọc HEPA lên khung trần nhà.
• Sticky Mat – (Vật liệu dẻo dính hay còn gọi là thảm dính bụi): Tấm thảm dính bụi hỗ trợ việc hút các bụi bẩn bám ở giày hoặc quần áo khi đi ra vào phòng sạch.
• Prefilters – (Lọc sơ bộ, tiền lọc): Bộ lọc bổ sung dược dùng để nói tiếp với bộ lọc chính; chúng lọc các tiểu phân cỡ lớn và bảo vệ bộ lọc chính không bị nhiễm bẩn quá mức.

Các thuật ngữ khác:

• Airborne Particulate Cleanliness Class Number – (Số cấp độ sạch về số lượng các hạt có trong không khí): Thể hiện số lượng các hạt có kích thước cỡ 0,5 micron hoặc lớn hơn có trong một thể tích không khí trong phòng sạch. Số cấp độ càng nhỏ nghĩa là không khí trong phòng càng tinh khiết.
• Sample Acquisition Time – (Thời gian tiếp nhận mẫu): Thời gian mà thiết bị đếm hạt tích luỹ dữ liệu đếm trước khi tự động trả về 0 và tiếp tục đếm lần nữa.
• Testing/Certification Services – (Dịch vụ Kiểm tra và Chứng nhận): Là dịch vụ kiểm tra và duy trì các thành phần của phòng sạch, bao gồm các bộ lọc HEPA, hệ thống HVAC và các thiết bị khác. Việc kiểm tra bộ lọc HEPA bao gồm các khảo sát và đếm tiểu phân, đo lường về điều hòa không khí, đo độ rung và độ ổn định dòng không khí.

Xem thêm: Các sản phẩm phòng sạch.