Trong cách phân loại phòng sạch, chúng ta thường gặp phải các phòng sạch có Class và tiêu chuẩn ISO khác nhau, được dựa trên tiêu chuẩn ISO 14644-1 và FED STD 209 E. Đây là 2 tiêu chuẩn có sự tương đương vì vậy nhiều cấp phân loại được đánh giá khá giống nhau.
ISO 14644-1 là tiêu chuẩn quốc tế sử dụng cho thiết kế, xây dựng và vận hành phòng sạch. Tiêu chuẩn này đã được thông qua lần đầu tiên năm 1999.
FED STD 209 E là tiêu chuẩn phân loại độ sạch của hạt trong không khí tại phòng sạch và khu vực sạch. Đây là một tiêu chuẩn thường sử dụng của Mỹ dựa trên phân loại số lượng hạt trong không khí, được nhiều nước trên thế giới tin dùng.
ISO 14644-1 | FED STD 209E |
1 | Không có |
2 | Không có |
3 | Class 1 |
4 | Class 10 |
5 | Class 100 |
6 | Class 1000 |
7 | Class 10000 |
8 | Class 10000 |
9 | Không có |
Class | Kích thước hạt bụi / ft3 | |||||
≥0.1μm | ≥0.2μm | ≥0.3μm | ≥0.5μm | ≥1μm | ≥5μm | |
1 | 35 | 7 | 3 | 1 | ||
10 | 350 | 75 | 30 | 10 | 1 | |
100 | 750 | 300 | 100 | 10 | 1 | |
1000 | 1.000 | 100 | 10 | |||
10000 | 10.000 | 1.000 | 100 | |||
100000 | 100.000 | 10.000 | 1.000 |
Cấp độ | Kích thước hạt bụi / m3 | |||||
≥0.1μm | ≥0.2μm | ≥0.3μm | ≥0.5μm | ≥1μm | ≥5μm | |
ISO 1 | 10 | 2 | ||||
ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO 3 | 1.000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO 4 | 10.000 | 2.370 | 1.020 | 352 | 83 | |
ISO 5 | 100.000 | 23.700 | 10.200 | 3.520 | 832 | 29 |
ISO 6 | 1.000.000 | 237.000 | 102.000 | 35.200 | 8.320 | 293 |
ISO 7 | 352.000 | 83.200 | 2.930 | |||
ISO 8 | 3.520.000 | 832.000 | 29.300 | |||
ISO 9 | 35.200.000 | 8.320.000 | 293.000 |